產(chǎn)品分類
ULVAC愛(ài)發(fā)科 機(jī)械增壓泵 PRC-006A “Model:PRC” 是一種機(jī)械式增壓泵,主要用于需要特別清潔度的半導(dǎo)體和液晶制造工藝。 采用封閉電機(jī),油不會(huì)從軸封中泄漏。 也可以選擇大氣壓驅(qū)動(dòng)類型作為選項(xiàng)。
ULVAC愛(ài)發(fā)科PRC-003A機(jī)械增壓泵 “Model:PRC” 是一種機(jī)械式增壓泵,主要用于需要特別清潔度的半導(dǎo)體和液晶制造工藝。 采用封閉電機(jī),油不會(huì)從軸封中泄漏。 也可以選擇大氣壓驅(qū)動(dòng)類型作為選項(xiàng)。
ULVAC愛(ài)發(fā)科UR3601-TT多級(jí)羅茨干式真空泵 通過(guò)在高溫范圍內(nèi)均衡泵體的熱量,可以將 CVD、蝕刻等產(chǎn)生的升華廢氣物質(zhì)以 氣態(tài)排出。
ULVAC愛(ài)發(fā)科 多級(jí)羅茨干式真空泵 UR1800 通過(guò)在高溫范圍內(nèi)均衡泵體的熱量,可以將 CVD、蝕刻等產(chǎn)生的升華廢氣物質(zhì)以 氣態(tài)排出。
ULVAC愛(ài)發(fā)科UR1200多級(jí)羅茨干式真空泵 通過(guò)在高溫范圍內(nèi)均衡泵體的熱量,可以將 CVD、蝕刻等產(chǎn)生的升華廢氣物質(zhì)以 氣態(tài)排出。
ULVAC愛(ài)發(fā)科 多級(jí)羅茨干式真空泵UR421-T 通過(guò)在高溫范圍內(nèi)均衡泵體的熱量,可以將 CVD、蝕刻等產(chǎn)生的升華廢氣物質(zhì)以 氣態(tài)排出。